4&6寸硅片为什么要留平边（flat）？

2，4，6寸硅片都有平边，它们有什么作用？

硅片的平边（Flat）是什么？

Flat也可以被称为定位边。2，4，6寸硅片不是整个圆形，而是被切掉了一个缺角。用CZ法拉出硅锭后，还未被切割成一片片硅片前，一旦晶向被确定，就会用金刚锯在晶锭上切割出一个或多个平边。因此硅片有1-2个定位边，长的定位边在晶圆底部，短的定位边位置不固定，跟随晶向与掺杂类型发生变化。

定位边位置与晶向的关系？

硅片的晶向一般为三种：<111><110><100>。当主定位边与次定位边夹角为45°时，硅片类型为n型<111>;当主定位边与次定位边夹角为90°时，硅片类型为p型<100>;当主定位边与次定位边夹角为180°时，硅片类型为n型<100>。由于<110>晶向，不是主流的硅片晶向，因此没有一个标准来表示，可以根据硅片供应商自己的标准来表示<110>晶向。

主定位边与次定位边的长度是固定的吗？

是的，因为要匹配半导体制造设备，因此主，主次定位边的长度和位置都是固定的。

一般2inch的主定位边长度为15.8mm，4inch硅片主定位边长度为32.5mm，6inch硅片主定位边为57.5mm。4英寸硅片次定位平边的长度约为18 mm，6英寸硅片次定位平边的长度约为22 mm。

文章来源：Tom聊芯片智造